山西氣體廠家所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質。
交城永固氣體管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。更多氣體知識請關注氣體圈子微信：gasgroup管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
山西二氧化碳的制取辦法首要有：出產石灰副產二氧化碳，釀酒發(fā)酵過程副產二氧化碳，重油、焦炭等燃燒發(fā)生二氧化碳，合成氨工業(yè)副產品二氧化碳等?，F(xiàn)在，合成氨工業(yè)的質料大都為燃氣、煉廠氣、焦爐氣和煤，其首要成份都是由不同氫碳比的烴類和元素碳構成，在高溫下與水蒸汽效果生成以氫氣和一氧化碳為主體的合成氣，一氧化碳經(jīng)改換成為二氧化碳。交城永固氣體二氧化碳的提純辦法有：吸收法、變壓吸附法、吸附精餾法和膜別離法。
